积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%

2024年4月28日晚(wǎn)间，微导纳米公布2023年报及2024年一季报。2023年(nián)全年(nián)，公司实现营业(yè)收入(rù)16.80亿元，同(tóng)比(bǐ)增长(zhǎng)145.39%。实现归母净利润2.70亿元，同比增长399.33%。扣非归母净利润1.88亿元，同比增长849.89%。

2024年一季度，微导纳米营业收入达1.71亿(yì)元，同比增长125.27%；归母净利润达357.34万元，相比去年同(tóng)期，实现扭(niǔ)亏为盈，公司业务呈现高速增长态势。

报告期内，得益于微(wēi)导纳米在薄(báo)膜技术领域(yù)的不断突破，以及公(gōng)司在全球化发展和多元(yuán)化布局上的努力，微(wēi)导纳(nà)米在实现产品工艺优化(huà)升(shēng)级(jí)的同时，客户群体覆(fù)盖度也在进一(yī)步扩大(dà)，业务呈现良好发展态势、市场竞争力、运营效(xiào)率持续提升，有力推(tuī)动了订单规模和经营业绩的持续增长。

坚持ALD+CVD等镀膜平台化战(zhàn)略(lüè)，赋能多元化产业发展

微导纳米是一家面向全球的半导体、泛(fàn)半(bàn)导体高端(duān)微纳装备制造(zào)商。公司形(xíng)成了(le)以原子层沉积（ALD）技术为(wèi)核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯(tī)次发(fā)展(zhǎn)的技术平台体系，专(zhuān)注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生(shēng)产与销售，向下游客户提供尖端薄膜设(shè)备、配套产(chǎn)品及服(fú)务。

长期以来，微导纳米坚(jiān)持以ALD为核心，CVD等多种真(zhēn)空薄膜技术梯次发(fā)展技术平台体系，凭借在新兴应用领域(yù)的前(qián)瞻性(xìng)战(zhàn)略布局，微(wēi)导(dǎo)纳米开发的薄膜沉积技术及设备，目前已广泛运用于半导体、光伏及新兴应用领(lǐng)域，并取得亮眼表现。

在(zài)半导体领域，微导纳米构建了以ALD为核心，CVD等多种真(zhēn)空薄膜技术梯次发展技术平台(tái)体系，公司半导体集成电(diàn)路产品涵盖逻辑、存储(chǔ)、化合(hé)物半导体、新型显示等诸多细分应用领域。在光伏领域，公司ALD设备的(de)市场占有(yǒu)率(lǜ)保持领先，实现了对TOPCon产(chǎn)线真空类设备的全覆盖，并在XBC、HJT、钙钛矿、钙(gài)钛矿叠层等电池技术领域均(jūn)有产品(pǐn)储(chǔ)备、布局和出货。在新兴应(yīng)用领域，2023年，微导纳米已(yǐ)在(zài)光学、柔(róu)性电子、车规级(jí)芯片等几(jǐ)个极具市场潜力的薄膜沉积技术应用前沿领域开始获得客户订单。

得益于ALD+CVD等(děng)镀膜平(píng)台化战略(lüè)，微导(dǎo)纳米2023年成绩亮眼。业(yè)绩报告显示，2023年，公司新增订单总额约64.69亿元，是去年同期新增订单的2.96倍。截止至2024年3月31日，公司在手订单81.91亿元（含Demo订(dìng)单），其中光伏在手订单70.26亿元，半导体在手订单11.15亿元，产业化中心新兴应(yīng)用(yòng)领域在手订单0.50亿(yì)元。

下游(yóu)业务(wù)迎(yíng)来突破性发(fā)展，微导纳米积极开拓新(xīn)兴市场应用

在半(bàn)导体领域，微导(dǎo)纳米是国内首家(jiā)成功将量产型 High-k 原(yuán)子层(céng)沉积(jī)(ALD)设备应用于集成电路(lù)制造前道生产线的国产设备厂商(shāng)。同时，2023年7月，微导纳米(mǐ)首台半(bàn)导体CVD薄膜沉积设备顺利发货至客户端，旨在通过差(chà)异化策略(l突遭计提超4亿元减值损失亿利洁能存款成谜üè)开(kāi)发出市场亟需的(de)CVD领(lǐng)域高(gāo)端设备，解决关键工艺的市场空白。

根据(jù)SEMI行业统计，ALD约占(zhàn)半导体镀膜(mó)板块的11%~13%市场(chǎng)份额，未来几年将保持高速增长，复合增长率高达26.3%；CVD约占半导体镀膜(mó)板块的57%市场份额，未来几年的复合增(zēng)长率约为8.9%。

目前，微导(dǎo)纳米已经开发工艺包括HKMG技术(shù)、柱状电容器、金属(shǔ)化薄膜沉(chén)积技术及高深宽比3D DRAM、TSV技(jì)术等(děng)，覆(fù)盖HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、HfSiO、HZO、HZLO、TiN、AlN、SiN、SiON、SiGe等薄膜材料。

在光(guāng)伏领域，2023年11月，微导纳米自主(zhǔ)研发的钙钛矿晶硅叠层(céng)电(diàn)池专用ALD量产设备，顺利(lì)发至海外客户。2024年3月，微导纳米成功研(yán)发出首台(tái)适用于大面积百兆瓦钙钛矿电池生产的专用(yòng)量产(chǎn)型原(yuán)子层沉积(ALD)设备，并已(yǐ)顺利发货至业内领(lǐng)军企业。

值得一提的是，报告期内，微导纳米新增立项(xiàng)多项新兴(xīng)产业(yè)应用项目，分布于柔(róu)性镀膜、芯(xīn)片封装、光学超低减反膜沉(chén)积、新能源等(děng)细(xì)分(fēn)应用领(lǐng)域镀膜环节。截至目前，微导(dǎo)纳米自主研发的柔性电子二代机、应用于车(chē)规级芯片(piàn)ALD设备以及首台光学领域镀膜设备(bèi)已顺利发(fā)货，其中车规级芯片ALD设备出口海外。2024年(nián)1月，微导纳米创新研(yán)发的(de)ALD量产设备顺利(lì)发往欧洲某头部芯片封装客户，实现国产高端设备出口海外。

图：薄膜沉积技术在部分新兴领域的应用场景

微导纳米在财报中表示(shì)，公司将继续依托产业化应用中心(xīn)持续探(tàn)索尖端薄膜沉积技术在各新兴应用(yòng)领域的(de)发展机会(huì)，并逐步开展产品应用验证，持续推动新兴产业的技术进步。

持续加码技术研发，深挖薄膜沉积设备(bèi)技术(shù)护城河

近年来，微导纳(nà)米以ALD技(jì)术为核心(xīn)的薄膜沉积技(jì)术领域形成(chéng)了多项核心技术和科技成果，并成功将其应用于主营业务，实现了科技成(chéng)果与(yǔ)产业的(de)深度融合。与此同时，微导纳米始终坚(jiān)持自(zì)主创新、持(chí)续加大研(yán)发投入(rù)，持续(xù)探索技(jì)术(shù)边界，积极应对市场需(xū)求的变化，不断拓宽并深化在(zài)产业前瞻领域(yù)的技术应用，力求实现更广泛(fàn)的技术创新与产业融合。

2023年，微导纳米研发投入3.08亿元，占营业收入比例达18.34%，其中约50%投向半导体(tǐ)领域，包括(kuò)逻(luó)辑(jí)、存储、新型显(x突遭计提超4亿元减值损失亿利洁能存款成谜iǎn)示器、化合物半导体等项目；光伏领(lǐng)域研发投向(xiàng)包括TOPCon、XBC、钙钛矿/钙钛矿叠层(céng)电池等新(xīn)一代高效电池技术等项目。研(yán)发队伍人员不(bù)断增加，研发人员达(dá)到429人，同比增长78.01%。

得益于公司对研(yán)发的(de)重视及(jí)在研发投入(rù)上的不断加码，2023年，微导纳米新增各类专利申请146项，新增专利(lì)授权35项，累计授权专利达到137项，逐步形成了薄膜沉积反应器设计技术(shù)、基(jī)于原子层沉积的高效电池技术、柔性(xìng)材料制备技术、薄膜封装(zhuāng)技(jì)术(shù)等十大核心技术(shù)。

凭借坚持(chí)执行ALD+CVD等镀膜平台化战略，微导(dǎo)纳米正(zhèng)持续在新兴领域(yù)进行前(qián)沿化开发(fā)，为公司未来发展创造更多收入增长极。此外，在技(jì)术协同(tóng)效(xiào)应进一步(bù)显现(xiàn)下，微导纳米通过跨行业的业务分布，拥有了较强(qiáng)的穿越行(xíng)业周期的能(néng)力，公司的抗风险能力得(dé)到进一步提(tí)升。未来，随着其他新兴技术(shù)市场的发(fā)展，微导(dǎo)纳米作为平台(tái)型(xíng)的关键设备供(gōng)应商的优势将进一步显(xiǎn)现。（齐(qí)和宁）

校对：苏焕文